JEOL：推出雷射掃描式電子顯微鏡系統「LazEdge」

東京--(美國商業資訊)-- JEOL Ltd.（總裁兼執行長：Izumi Oi）成功研發出配備雷射加工系統的掃描式電子顯微鏡(SEM)系統「LazEdge」，並於2026年5月25日正式上市銷售。
諸如聚焦離子束系統（FIB系統）等截面樣品製備儀器已廣泛應用於科研院所、大學及工業界等科技領域。近年來，市場對能夠進行高速度、大面積加工，同時又能保證高品質加工表面的系統的需求與日俱增。「LazEdge」是將JEOL的SEM與Hamamatsu Photonics K.K.的專有雷射技術相結合的儀器，實現了在電子顯微鏡樣品室內直接進行雷射加工。
該系統透過高速、大面積加工製備出高品質的截面樣品，隨後可在不暴露於外部環境的情況下，順暢切換至後續分析，如SEM觀察、元素分析和晶體方位分析。因此，它能夠滿足廣泛的分析需求，包括金屬樣品分析、需要隔絕空氣的電池分析，以及需要快速製備截面的半導體失效分析。

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[主要特點]

1. 樣品室內的高品質截面加工
   透過將雷射加工系統集成到SEM中，LazEdge利用能夠對雷射光束進行空間相位調製的專有光學系統，實現了在樣品室內高速進行大面積、低LIPSS（雷射誘發週期性表面結構）痕跡的高品質截面加工。
2. 「LazEdge Shield」帶來的穩定且潔淨的加工環境
   其專有遮罩技術「LazEdge Shield」能最大程度地減少加工過程中產生的碎屑飛濺，實現潔淨的加工，從而避免污染探測器、鏡筒和樣品室外壁。此外，該雷射系統可以同時聚焦於樣品的加工位置以及遮罩罩上的雷射照射位置。這項技術允許在加工的同時對遮罩進行潔淨（防止污染）。這些技術在始終保持雷射功率穩定的同時，提供了高品質的截面加工。
3. 順暢、高通量的加工與觀察
   透過在SEM樣品室內安裝遮罩並直接在室內進行加工，可以順暢、高通量地交替執行加工與觀察。例如，在電子背散射衍射(EBSD)測量中，僅靠雷射加工就能製備出滿足EBSD測量品質要求的截面。透過自動重複加工和測量，還可以實現3D EBSD資料的擷取。

[銷售目標] 10台/年

相關連結
產品資訊：LazEdge雷射SEM系統
https://www.jeol.com/products/scientific/sem/lazedge.php

JEOL Ltd.
3-1-2, Musashino, Akishima, Tokyo, 196-8558, Japan
Izumi Oi，總裁兼執行長
（股票代號：6951，東京證券交易所主力市場）
www.jeol.com

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LazEdge雷射SEM系統